微机械变压器及其制作方法 - 成熟应用成果 - 国家科技成果网

微机械变压器及其制作方法

成果概况

成果类别：	应用技术	体现形式：	新技术	课题来源：	自选课题
起止时间：	2007.01 至2008.01	研究形式：	独立研究	所处阶段：	初期阶段
成果属性：	原始性创新

成果简介

本发明公开了一种微机械变压器及其制作方法，属于智能微型器件领域。该微机械变压器的第三导体3位于基底4上，与外界地相连；第一导体1与第二导体2均通过锚点6悬置于基底4上，第一导体1输入电压Vin，第二导体2输出感应电压Vinduc。各导体两两之间构成平板电容。此外，该变压器还可以通过更多悬置导体的形式得到多级变压器。该微机械变压器可以通过以下工艺过程得到：基底上生长薄膜、刻蚀、结构材料上刻蚀锚点、键合、减薄、刻蚀结构材料。本发明提出的新型微机械变压器具有结构设计简单、工艺成熟、体积小等优点，同时很容易扩展成多级变压器，在设计片上型多输出、复杂能源系统领域具有较好的应用前景。

应用前景