数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置

成果概况

成果类别：	应用技术	体现形式：	新技术	课题来源：	自选课题
起止时间：	2007.01 至2008.01	研究形式：	独立研究	所处阶段：	初期阶段
成果属性：	原始性创新

成果简介

本发明公开了一种数字干涉条纹分析方法及光学元件面形检测装置。其主要技术特点是，首先给原始的数字干涉条纹图像乘以窗函数，以扩展干涉条纹图像频谱的主瓣宽度并抑制其频谱的旁瓣；然后，再对数字干涉条纹图像进行傅里叶分析，其间采用质点组质心坐标计算法对数字干涉条纹的空间载频进行估计，并用于数字干涉条纹图像的移频，从而有效地抑制了栅栏效应给测量带来的误差。此外，基于本发明数字干涉条纹分析方法构建的光学元件面形检测装置能够对空间载频不是频率采样间隔整数倍时的干涉条纹进行高精度分析，而且检测装置结构组成简单，测量实时性好。

应用前景