自动化设备装置、机器人
| 基于纳米操作机器人技术的精密检测仪器及应用 | |
| 完成人： | 汝长海；孙立宁；朱军辉；任天斌；王勇；KO LUN CHEN（陈科纶）；吴杰；陶重犇； |
| 第一完成单位： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 关键词： | 仪器；精密检测；机器人技术；纳米操作机；伺服控制方法； |
| 研究起止时间： | 2007.01 至2019.12 |
| 课题来源： | 地方计划 |
| 合作形式： | 与院校合作 |
| 所处阶段： | 成熟应用阶段 |
| 成果水平： | 国际先进 |
| 成果属性： | 原始性创新 |
| 成果体现形式： | 新产品 |
成果简介
半导体芯片、纳米材料、精密光学等战略性产业和纳米技术的迅速发展，要求日益复杂的纳米操纵策略和精密检测技术。目前，微纳尺度精密检测仪器主要由美国、德国等少数国家掌握其核心技术，由于巨大的市场价值和战略重要性，对我国实行技术封锁，尤其是应用于半导体芯片的检测工艺及技术。我国在该领域的技术研发落后于发达国家，限制了我国在新材料、芯片制造、新能源等领域的高质量发展。
本项目的发展可分为四个...
合作完成单位
- 上海微谱检测科技集团股份有限公司
- 江苏集萃功能材料研究所有限公司
- 苏州科技大学
- 苏州大学
成果专利Top5
- 基于柔性铰链的可调预紧式粘滑驱动定位平台
- 具有侧部摩擦力调整机构的粘滑驱动跨尺度精密定位平台
- 驱动单元模块化粘滑驱动定位平台
- 一种上部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台
- 应用于AFM-SEM混合显微镜系统的PRC及其制造方法
