在人造金刚石、集成电路清洗、刻蚀等微波等离子体应用领域，需要稳定度较高的微波生器，以产生稳定的微波信号，满足各领域应用需求。微波生器加热机理是基于微波与被加热物质分子之间的相互作用，并被吸收转换成热量。与红外加热、电炉加热、高频加热等加热方式相比，微波加热可以深入被加热物质内部，加热时热量直接来源于微波。
目前，由于微波等离子体化学气相沉积制备人造金刚石等领域微波发生器技术要求高，需求量大，国产化比例低，导致高度依赖进口，关键设备受制于人。而国外产品在价格高、交付周期长的同时，普遍采用风冷与水冷结合方式，单台设备需向工作环境排放大量热量，直接影响了生产装备布置，增加了降温成本，亟待解决。
针对上述问题，项目开展了水冷高稳定度微波发生器研制。项目创新研发了高质量直流灯丝电源及压频转换技术，改善了频谱质量，降低了频谱宽度。通过高频变压器隔离阳极高压，以及电压与频率信号转换，提高了灯丝电源电流的输出稳定性；开发了微波发生器控制技术，优化了磁控管最佳工作曲线及兼容适配系统，保证了微波发生器输出功率和系统运行稳定性，提高了磁控管使用寿命和电源适配性；设计了水冷微波发生器热交换结构。采用油箱将变压器与高压整流部分封闭，油箱内部安装水冷换热器的结构设计，明显降低了工作环境热量排放。
项目技术具有自主知识产权，已获国家授权发明专利及软件著作权。项目产品已通过安徽省电子产品监督检验所检测，并被宁波晶钻科技股份有限公司、成都稳正科技有限公司、四川大学电子信息学院等单位采用，实现了微波等离子体化学气相沉积制备人造金刚石等领域微波发生器的国产化替代，应用前景广阔。
项目咨询：王艳欣13371759156
1.安徽明辨电子科技有限公司
1.刘 凯 2.邓永峰 3.张 辰 4.印长豹 5.曾 亮 6.谢振磊 7.唐 鹏 8.王帅帅 9.何 柱 10.芮 庆 11.刘 英 12.杨玉连 13.戴义亮 14.刘子欢 15.张秋爽
| |
评价单位： |
中国民营科技促进会 |
报告编号： |
202301003041 |
评价日期： |
2023-05-20 |
| |
组织单位： |
中国民营科技促进会科技成果转化办公室 |
项目负责： |
雷智旺、王艳欣 |
成果管理： |
13681439210 |
1.提供的资料齐全，符合评价要求。
2.项目主要创新点如下：
（1）研发了高质量直流灯丝电源及压频转换技术，改善了频谱质量，降低了频谱宽度。通过高频变压器隔离阳极高压，以及电压与频率信号转换，提高了灯丝电源电流的输出稳定性。
（2）开发了微波发生器控制技术，优化了磁控管最佳工作曲线及兼容适配系统，保证了微波发生器输出功率和系统运行稳定性，提高了磁控管使用寿命和电源适配性。
（3）设计了水冷微波发生器热交换结构。采用油箱将变压器与高压整流部分封闭，油箱内部安装水冷换热器的结构设计，明显降低了工作环境热量排放。
3.项目产品已被宁波晶钻科技股份有限公司、成都稳正科技有限公司、四川大学电子信息学院等单位采用，实现了微波等离子体化学气相沉积制备人造金刚石等领域微波发生器的国产化替代。
4.项目产品已通过安徽省电子产品监督检验所检测。
5.项目技术具有自主知识产权，已获国家授权发明专利及软件著作权。
评价委员会认为：项目在水冷微波发生器结构及直流灯丝电源设计方面达到国际先进水平，同意通过科技成果评价。
| 姓名 |
工作单位 |
职称 |
从事专业 |
| 丁天怀 |
清华大学 |
正高 | 测控 |
| 蔡青有 |
中国电力科学研究院 |
正高 | 电力产品检测 |
| 古宏伟 |
中国科学院电工研究所 |
正高 | 电工材料 |
| 缪 谦 |
国家电网 |
正高 | 电力节能 |
| 孙家跃 |
中国仪器仪表学会 |
正高 | 自动控制 |
| 聂军刚 |
机械科学研究总院 |
正高 | 重大装备 |
| 周 迎 |
科技部火炬中心 |
正高 | 科技管理 |
微信公众号
服务热线
服务热线
