本项目目的在于对现有技术中的气柜进行改进，相比现有技术提供半导体领域多气体输送集成控制柜，通过盘面来对多种气体的管道及其相关配件进行合理的布局，让整个气柜内部空间合理且紧凑，有效降低空间占比，便于安装摆放，通过在盘面的下方增设抽气箱，利用气体传感器来监测多种气体，当气体发生泄漏后气体传感器触发微型电磁铁向上磁排斥重力式密封头，同时气体传感器启动微型抽气泵将泄漏的气体吸收到压缩式储气囊中进行储存，避免气体在柜体内大量积聚，有效避免爆燃事故的发生，而且当压缩式储气囊吸收满泄漏的气体后会通过触发压力传感器来发出警报，从而让工作人员及时清空压缩式储气囊内的气体。
实现对气柜内部空间的紧凑利用，并且能及时吸收泄漏出来的气体，有效提高气柜使用时的安全性。
1.朱学明 2.单欢欢 3.陈伟才 4.王红卫 5.殷志亮 6.郑孙校
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评价单位： |
中国管理科学学会 |
报告编号： |
CMSS2025Y038 |
评价日期： |
2025-04-23 |
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组织单位： |
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项目负责： |
王鑫 |
成果管理： |
13605601775 |
2025年04月23日，中国管理科学学会通过视频会议形式组织专家召开了由安徽壹月科技有限公司完成的“半导体领域多气体输送集成控制柜”科技成果评价会。评价委员会听取了项目完成单位的技术总结报告，对项目资料进行了审查和质询答辩，经认真讨论形成意见如下：
1、提供的资料基本齐全，符合评价要求。
2、主要创新点：
(1)研制了微泄气体检测传感器 - 抽气泵 - 储气囊 - 泄漏气体处理联动装置和专用密封结构，实现了气柜微泄漏的监测和自动处理，提高了安全性。
(2)开发了专用监控系统，通过PLC显示屏、负压表和急停按钮，实现集中监控与紧急干预。
(3)通过集成化设计、模块化盘面布局，显著减小了控制柜体积，节省了设备占用空间，降低了成本。
3、项目获得多项国家发明专利，具有自主知识产权。产品经安徽省产品质量监督检测研究院检测，符合相关标准。
4、产品经京东方华灿光电有限公司、一塔半导体（安徽）有限公司等多家用户使用，反映良好。
评价委员会认为，该成果创新性强、示范性好，关键技术达到国际先进水平。
建议：进一步扩大该技术成果的应用领域，满足市场需求。
| 姓名 |
工作单位 |
职称 |
| 张文明 |
北京科技大学 |
正高 |
| 朱晓民 |
北京机械工业自动化研究所 |
正高 |
| 杜海燕 |
北京工商大学 |
正高 |
| 朱青松 |
北京科技职业大学 |
正高 |
| 樊中朝 |
中国科学院半导体研究所 |
正高 |
| 聂军刚 |
中国机械科学研究总院集团 |
正高 |
| 孙家跃 |
中国仪器仪表学会分析仪器学会 |
正高 |
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