为响应国家半导体产业链自主可控战略部署，破解高端TMAH长期依赖进口的产业困局，信联电子材料科技股份有限公司研发的“集成电路用四甲基氢氧化铵（TMAH）制备技术”取得重大突破，为我国14nm及以下先进制程提供关键材料支撑。
本成果以离子膜电解法为核心技术路线，构建了“电极优化-膜系统匹配-多级纯化”一体化技术体系。一方面开发表面电化学改性的合金涂层电极，有效解决传统石墨电极腐蚀问题，提升电流效率与使用寿命；另一方面创新采用四室三膜电解槽结构，结合全氟磺酸-羧酸复合阳离子交换膜，实现(CH₃)₄N⁺的高效选择性迁移，显著抑制Na⁺、K⁺等杂质离子迁移。配套特种离子交换树脂吸附与纳滤-超滤集成纯化工艺，形成多维度杂质控制能力。
成果性能指标达到国际先进水平：产品金属离子总量≤0.1ppb，符合SEMIG4标准；浓度可调范围2.38%-25%，偏差≤±0.003%；电流效率达70%-80%，优于国内平均水平，且常温储存6个月无结晶分层，80℃加速老化无分解。
目前技术成熟度达Level 8，已实现批量供货。产品通过京东方、华星光电等面板企业验证，且在长鑫、长存等半导体厂商完成导入，武汉新芯、天津中芯国际等多家企业正推进验证。相较于国外技术，本成果依托国内原料产能优势降低成本，聚焦电极改性、膜分离集成等关键环节构建自主专利布局，已在国内中高端市场实现突破，有力推动了我国湿电子化学品的国产化替代进程，为保障国家信息基础设施安全提供了重要支撑。
1.孙炜 2.冯亚楠 3.贾成林 4.孔星 5.张雪冰 6.尹丰丰 7.刘颖娟 8.于文达 9.许光 10.赵鹏
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评价单位： |
中国电子节能技术协会 |
报告编号： |
中电节评字[2025]第CG029号 |
评价日期： |
2025-09-28 |
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组织单位： |
中国电子节能技术协会 |
项目负责： |
冯亚楠 |
成果管理： |
13383069500 |
1. 提供的资料基本齐全，符合评价要求。
2. 该项目的关键技术及主要创新点：
（1）首创采用合金涂层技术，在钛基体形成致密保护层，达到解决石墨电极腐蚀问题、延长电极寿命至 18 个月、电流效率提升至 70%-80% 的效果。
（2）采用全氟磺酸型阳离子交换膜作为基础膜材，并辅以羧酸膜层构成复合结构，既保障了 (CH₃)₄N⁺离子的高效迁移性能，又提升了离子透过选择性，同时具备良好的耐强碱性能。
（3）采用纳滤浓缩、超滤除微粒、树脂吸附联用的三级除杂体系纯化技术，达到产品质量稳定的效果。
（4）使用四室三膜电解槽构建梯度电场技术，达到将 Na⁺等杂质降至 0.1ppb 以下（G4 级）、适配 28nm 先进制程及以下制程的场景应用。
（5）采用精准调控技术，对温度、电流密度等参数进行调控，达到浓度偏差≤±0.003% 的效果。
3. 该项目技术已获得国家发明专利，具有自主知识产权，已具备良好产业化应用基础。
4.评价委员会认为该项目技术达到国际先进水平，一致同意通过科技成果评价。
| 姓名 |
工作单位 |
职称 |
从事专业 |
| 黄利斌 |
工业和信息化部节能与综合利用司 |
正高 | |
| 张序国 |
科技部火炬中心 |
正高 | |
| 任伟 |
工业和信息化部安全生产司 |
正高 | |
| 李建武 |
北京理工大学 |
正高 | |
| 何祚云 |
中国石化长城能源化工有限公司 |
正高 | |
| 屈耀明 |
中石化石油工程建设公司 |
正高 | |
| 刘源超 |
中国电子工业科学技术交流中心有限公司 |
副高 | |
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